ФОРМУВАННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ НАНОСТРУКТУР НА ДІЕЛЕКТРИЧНИХ ПОВЕРХНЯХ ТЕРМІЧНИМ ВИПАРОВУВАННЯМ У ВАКУУМІ

Автор(и)

  • Віктор Степанович Антонюк Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», Україна
  • Сергій Вікторович Храпатий Київський національний університет імені Тараса Шевченка, Україна
  • Світлана Олександрівна Білокінь Черкаський державний технологічний університет, Україна
  • Володимир Олександрович Андрієнко Черкаський державний технологічний університет,

DOI:

https://doi.org/10.20535/2305-9001.2014.70.33398

Ключові слова:

наноструктура, функціональне покриття, діелектрична поверхня, термовакуумне випаровування, атомно-силова мікроскопія

Анотація

Встановлені умови формування пошарових нанометричних покриттів SiO2, C, TiO2 на діелектричні поверхні з подальшим створенням на них наноструктур комбінованим методом термовакуумного випаровування. Методами растрової електронної та атомно-силової мікроскопії досліджені залишкові мікронерівності та стан поверхонь функціональних наноструктур в процесі їх експлуатації в умовах агресивних середовищ. Показано, що формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі дозволяє покращити мікрогеометрію цих поверхонь, зменшити залишкову поруватість покриттів та забезпечити їх гідрофобність, чим підвищити у 1,5…2 рази їх зносостійкість та на 15…22% - адгезійну міцність

Біографії авторів

Віктор Степанович Антонюк, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут»

доктор технічних наук, професор кафедри виробництва приладів Національного технічного університету України «Київський політехнічний інститут»

Сергій Вікторович Храпатий, Київський національний університет імені Тараса Шевченка

кандидат фізико-математичних наук, доцент кафедри біофізики Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Світлана Олександрівна Білокінь, Черкаський державний технологічний університет

асистент кафедри фізики Черкаського державного технологічного університету

Володимир Олександрович Андрієнко, Черкаський державний технологічний університет

старший викладач кафедри комп'ютерних наук та інформаційних технологій управління Черкаського державного технологічного університету

Посилання

Nanostrukturnoe modificirovanie sloistyh plenok amorfnogo gidrogenizirovannogo kremnija putem termoobrabotki [Nanostructural retrofitting of the stratified tapes of the amorphous hydrogenated silicon by heat treatment]. V.P. Afanas'ev, A.S. Gudovskih, A.Z. Kazak-Kazakevich, N.A. Seljuzhenok. Temperaturoustojchivye funkcional'nye pokrytija: Tr. XIX Vserossijskogo soveshhanija po temperaturoustojchivyem funkcional'nym pokrytijam. Sankt-Peterburg, 15–17 aprelja 2003 goda. SPb.: Janus, 2003. P.18–26.

Sharapov V.M. P'ezojelektricheskie datchiki (Piezoelectric sensors). V.M. Sharapov, M.P. Musienko, E.V. Sharapova Moskow: Tehnosfera, 2006. 632 p.

Palatnik L.S. Mehanizm obrazovanija i substruktura kondensirovannyh plenok (Mechanism of education and substructure of the condensed tapes). L. S. Palatnik, M. Ja. Fuks, V. M. Kosevich. Moskva: Nauka, 1972. 320 p.

Andrievskij R.A. Sovremennye problemy nanostrukturnogo materialovedenija [Modern problems of nanostructural material building]. R. A. Andrievskij. Nanostrukturnoe materialovedenie, Kyiv. 2005. No1. P.5-11.

Tehnologіchnі osnovi otrimannja metalіzovanih pokrittіv na virobah mіkrooptiki ta nanoelektronіki elektronno-promenevim metodom (Technological bases of receipt of metal-backer coverages on the wares of microoptics and nanoelectronics by a cathode-ray method). nauk. red. V. A. Vashhenko. Zvіt z NDR (MONU); No DR 0103U003689. Kyiv, 2004. 63 p.

Mironov V.L. Osnovy skanirujushhej zondovoj mikroskopii (Bases of sweepable probe microscopy). V. L. Mironov. Moskow: Tehnosfera, 2004. 144 p.

Kanashevich G.V., Kovalenko Ju.І., Bondarenko M.O. Pristrіj dlja elektronno-promenevogo polіruvannja virobіv [A device is for the cathode-ray polishing of wares]. Patent Ukrainy no 4177 A. 17.01.2005.

V. S. Antonyuk, M. O. Bondarenko and Yu. Yu. Bondarenko. Studies of thin wear-resistant carbon coatings and structures formed by thermal evaporation in a vacuum on piezoceramic materials. Journal of Superhard Materials, 2012, Volume 34, Number 4, Pages 248-255

Prikladi zastosuvannja fіzichnih metodіv doslіdzhennja strukturi poverhnі (Examples of application of physical methods of research of structure of surface). Pіd red. Dubrovs'koї G.M., vid-vo Sіl'het: Shobuzh Bіponі, Udoun Ofset Printers, 2007. 248 p.

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-11-11

Номер

№ 70 (2014)

Розділ

Статті

Ліцензія

Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.