ФОРМУВАННЯ РЕЛЬЄФУ ПОВЕРХНІ УЛЬТРА-ТОНКОЇ ПЛІВКИ МІДІ
DOI:
https://doi.org/10.20535/2305-9001.2012.65.33953Ключові слова:
ультра-тонка плівка міді, напружено-деформований стан, скануючий тунельний мікроскоп, алмазне вістряАнотація
Представлені результати досліджень ультра-тонкої плівки міді методом скануючої тунельної мікроскопії (СТМ) з напівпровідниковим алмазним вістрям. Експериментальні данні порівняні з аналітичними даними, які отримані на основі розробленої фізико-математичної моделі формування рельєфу поверхні під впливом напружено-деформованого стану. Розбіжність між експериментальними даними і моделлю складає лише ≈0,5% в латеральному напрямку і ≈3% в напрямку вісі zПосилання
1. Zhengwen L., Antti R., Roy G. Atomic layer deposition of ultrathin copper metal films from a liquid copper amidinate precursor // J. Elect. Soc. – 2006. – 153, 11. – p.787-794.
2. Yoshihiro N., Shirou O., Hiroshi K. Multilevel interconnect technology for 45-nm node CMOS LSIs // J. Sci. Tech. – 2010. – 46, 1. – p.120 -127.
3. Matthews J., Blakeslee A. Defects in epitaxial multilayers // J. Crys. Grow. – 1974. – 37. – p.118-125.
4. Sun B., Suo Z. A finite element method for simulating interface motion—II. Large shape change due to surface diffusion // Mech. Mat. – 1997. – 45,12. – p. 4953-4962.
5. Sébastien B., Harry A., Alexander Ya. The surface of helium crystals // Rev. Mod. Phys. – 2005. – 77, 1. – p.317–370.
6. Дмитриев А.И., Никонов А.Ю., Псахье С.Г. Молекулярно-динамическое изучение отклика бикристалла меди в условиях сдвигового нагружения // Письма в ЖТФ. – 2010. – 36, 17. – c.16-22.
7. Yang X., Weinan E. Misfit elastic energy and a continuum model for epitaxial growth with elasticity on vicinal surfaces // Phys. Rev. B. – 2004. – 69, 3. – p. 035409- 035425.
8. Gao H. In Modern Theory of Anisotropic Elasticity and Applications / ed. J. Wu, T. Ting, D. Barnett. // Philadelphia: SIAM. – 1991. – p.139.
9. Huajian G. Mass-conserved morphological evolution of hypocycloid cavities: a model of diffusive crack initiation with no associated energy barrier // Proc. R. Soc. Lond. A. – 1995. – 448. – p.465-483.
10. Simmons J.G. Generalized formula for the electronic tunnel effect between similar electrodes separated by a thin insulating film // J. Appl. Phys. – 1963. – 34. – p.1793-1803.
11. Lysenko O.G., Novikov N.V., Gontar A.G. Semiconductive diamond tip for combined scanning probe microscopy// Journal of Superhard Materials. – 2006. – 28, 6.– p.9-18.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
