ВПЛИВ РЕЖИМІВ УЛЬТРАЗВУКОВОГО ОЧИЩЕННЯ П‘ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ НА ЯКІСТЬ СФОРМОВАНИХ НА ЇХНІХ ПОВЕРХНЯХ СРІБНИХ ЕЛЕКТРОДІВ

Анотація

Розглянуто вплив режимів ультразвукового очищення поверхонь зразків п‘єзоелектричних елементів перед нанесенням на них срібних електродів методом термічного осадження у вакуумі. Експериментально встановлено зменшення відносної площі забруднень з 74% до 38% для поверхні зразків, очищених хіміко-механічним методом, тоді як зменшення відносної площі забруднення для поверхонь зразків, очищених ультразвуком становило від 56% до 12%. При цьому, відносна трещинуватість поверхонь зразків після хіміко-механічного очищення в промислових умовах залишилася на рівні початкових зразків, тоді як для зразків поверхня яких очищалася ультразвуком в середовищі спиртового розчину олеїнової кислоти відносна трещинуватість збільшилася з 3% до 53-58%. Показано, що основними параметрами, які здійснюють суттєвий вплив на якість поверхні, яка підлягає очищенню є час очищення та потужність ультразвукового генератора, значення яких обираються виходячи із значень частоти на якій відбувається процес очищення.